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《气相沉积应用技术》的内容简要介绍.......
本书在第1篇中全面阐述了化学气相沉积、物理气相沉积、等离子体增强化学气相沉积的技术基础、技术原理、新的沉积技术、工艺过程、设备配套、膜层质量检测和分析。在第2篇中介绍了气相沉积技术在工模具硬质涂层、防护涂层、光学薄膜、建筑镀膜玻璃、太阳能利用、集成电路制造、信息存储、显示器件、饰品装饰、塑料金属化和柔性基材的卷绕薄膜产品等方面的应用。本书内容丰富新颖，力求紧密联系实际。 本书可供从事气相沉积技术的工程技术人员、科技工作者、在校师生和工人阅读，也可以作为相关专业的参考书。
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《气相沉积应用技术》的图书目录......
序1<br>序2<br>前言<br>第1篇 气相沉积技术基础及各种气相沉积技术<br> 第1章 气相沉积技术概述<br> 1 气相沉积技术分类<br> 2 气相沉积技术特点<br> 3 气相沉积技术应用<br> 第2章 化学气相沉积技术<br> 1 绪言<br> 2 化学气相沉积物理化学基础<br> 3 化学气相沉积热力学分析<br> 4 化学气相沉积反应物质源<br> 5 化学气相沉积涂层质量影响因素<br> 6 化学气相沉积装置<br> 7 高温化学气相沉积技术<br> 8 中温化学气相沉积(MT—CVD)技术<br> 参考文献<br> 第3章 物理气相沉积技术<br> 1 物理气相沉积技术概论<br> 2 物理气相沉积技术基础<br> 3 物理气相沉积技术<br> 参考文献<br> 第4章 等离子体增强化学气相沉积技术<br> 1 等离子体增强化学气相沉积技术机理<br> 2 等离子气体产生过程及性质<br> 3 等离子体化学反应过程<br> 4 等离子体增强化学气相沉积装置<br> 5 等离子体增强化学气相沉积工艺过程及特点<br> 6 等离子体增强化学气相沉积涂层组织特征<br> 参考文献<br> 第5章 气相沉积设备<br> 1 化学气相沉积设备系统<br> 2 等离子体增强低温化学气相沉积设备<br> 3 物理气相沉积设备及配套系统<br> 参考文献<br> 第6章 预处理主要辅助设备<br> 1 清洗<br> 2 刃口强化<br> 3 喷砂<br> 参考文献<br> 第7章 膜层质量测试<br> 1 膜层质量测试内容<br> 2 性能检验<br> 3 膜层的微区检测<br> 参考文献<br>第2篇 气相沉积技术应用领域<br> 第1章 气相沉积技术在硬质涂层中的应用<br> 1 硬质涂层制品在机械工业中的应用<br> 2 新型硬质涂层的发展趋势<br> 3 硬质涂层制品应用<br> 4 不同硬质涂层的实用沉积工艺技术<br> 5 非金属超硬涂层沉积技术复合涂层沉积技术及应用 <br> 参考文献<br> 第2章 气相沉积技术在防护涂层方面的应用<br> 1 防护涂层的作用<br> 2 耐腐蚀涂层<br> 3 热障涂层<br> 参考文献<br> 第3章 气相沉积技术在光学薄膜领域中的应用<br> 1 光学薄膜的应用领域<br> 2 光学薄膜特性<br> 3 光学薄膜的气相沉积技术<br> 参考文献<br> 第4章 气相沉积技术在建筑镀膜玻璃方面的应用<br> 1 建筑镀膜玻璃的功能<br> 2 普通玻璃的光学性能<br> 3 镀膜玻璃的遮阳隔热原理<br> 4 智能窗玻璃<br> 5 防雾防露和自清洁玻璃.<br> 参考文献<br> 第5章 气相沉积技术在太阳能利用领域的应用.<br> 1 太阳能——取之不尽的能源<br> 2 太阳能光一热转换<br> 3 气相沉积技术在太阳能光.伏转换领域中的应用<br> 4 太阳能电池的应用实例<br> 参考文献<br> 第6章 气相沉积技术在集成电路制造中的应用<br> 1 集成电路高集成化发展方向<br> 2 集成电路类型<br> 3 集成电路组成<br> 4 集成电路加工工艺<br> 5 分立器件电路的加工<br> 参考文献<br> 第7章 气相沉积技术在信息显示器件中的应用<br> 1 信息显示器件的应用<br> 2 信息显示器件的种类<br> 3 平板显示器件用薄膜<br> 参考文献<br> 第8章 气相沉积技术在信息存储领域的应用<br> 1 信息存储技术的进展<br> 2 信息存储的类型与存储薄膜<br> 3 超高密度信息存储材料<br> 4 纳米区内电荷存储技术<br> 参考文献<br> 第9章 气相沉积技术在装饰饰品上的应用<br> 1 装饰品给人们五彩缤纷的生活<br> 2 金属基材装饰膜的沉积<br> 3 塑料件装饰膜的沉积<br> 4 真空卷绕镀膜技术<br> 参考文献
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《气相沉积应用技术》的相关评论......
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